Reinraumtechnik in der Mikroelektronik, Nano- und Mikrostrukturtechnik
Mikroelektronik ohne Reinraumtechnik ist heute undenkbar: Die Ausbeute hängt entscheidend von den Reinheitsbedingungen ab.
Mit der Entwicklung mikroelektronischer Anlagen und Maschinen steigt auch der Anspruch an leistungsoptimierte Lösungen in der Reinraumtechnik. Prof. Dr. Horst Weißsieker berät Unternehmen umfassend bei Planung, Bau und Betrieb reinraumtechnischer Anlagen in mikroelektronischen Produktionsstätten und wissenschaftlichen Instituten. Grundlage sind ISO 14644, VDI 2083 sowie die Standards von SEMI und SEMATECH.
Der Fokus liegt auf der Konzeption der Reinräume, der permanenten Kostenkontrolle in der Planungs- und Bauphase, der erfolgreichen Zertifizierung der Anlagen bei hoher Termintreue und der Unterstützung bei Fragen des Betriebs.
Leistungsumfang
- Anlagenanalyse
- Planung und Konzeption der reinraumtechnischen Anlagen
- Projektsteuerung und Baubegleitung
- Zertifizierung der Reinräume
- Mitarbeiter-Schulungen
Die Anforderungen an die Reinheit der Raumluft, des Arbeitsplatzes (Oberflächen, Maschinen, Werkzeuge), der Prozessmedien und an die dort arbeitenden Menschen steigen stetig. Prof. Dr. Horst Weißsieker bringt deshalb seine jahrzehntelange Erfahrung in alle Projekte ein.